1、乱流式(Turbulent Flow):
空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘室等级为1,000-100,000级的。
优点:构造简单、系统建造成本低,无尘室扩充比较容易,在某些特殊用途场所可并用无尘工作台,提高无尘车间等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染产品。另外若系统停止运转再激活,欲达要求的洁净度,需耗时相当长一段时间。
2、层流式(Laminar):
层流式空气气流运动成均匀的直线形,空气由覆盖率100%的过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需求较高的环境使用,一般其无尘室等级为Class 1~100。
其型式可分为二种:
▶无尘车间水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁的回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
▶无尘车间垂直层流式:房间天花板完全用ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可获得较高的洁净度,在生产中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外并不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易受作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板的吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
3、复合式
复合式是将乱流式及层流式予以复合并用,可提供局部超洁净空气。